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衍射光栅-DOE-超表表-光栅尺

  • 光学个性设计、大面积全息-直写光刻设备
  • 合束/分束、利特罗、定位编码器、超表表、脉宽压缩光栅、液晶光栅
  • 极高不变性亚波长全息光刻工艺
  • 光栅个性模拟设计 +PVD+蚀刻+测试
  • 光栅周期>200nm(衍射效能30%~98%)
  • 光栅尺：2μm~20μm@米级长度
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