在IC芯片、生物芯片工程、微纳职能资料的钻研和利用中 ，光刻技术表演了不成或缺的角色。利用微纳光刻技术与增材造作的道理 ，开发的微结构3D打印技术是一项前瞻性、战术性技术。由于其工程利用性强 ，领域跨度大 ，对将来先进造作业 ，尤其是高端造作、职能器件的发展极度沉要。然而 ，已有的3D打印技术在打印精度、幅面上仍难以满足高精度器件的钻研与利用需要。例如 ，针对生物利用领域 ，3D 打印技术仍未有效解决打印尺寸与打印精度不能两全的难题。
图1为打印用于组织工程领域实现载体支架打印。3D打印技术为生物科学钻研和医疗诊断步骤提供了新的可能性 ，然而3D打印技术在生物领域的利用也面对不少局限性 ，重要表此刻打印精度和打印幅面无法满足利用要求。
一方面 ，基于超快激光的双光子效应的立体造型技术 ，可实现幼到0.1 μm的3D结构打印 ，然而 ，由于其单束串行打印模式 ，工作效能极低 ，幅面。ㄊ傥⒚祝 ，达不到高精度生物芯片的研造的要求。另一方面 ，基于紫光投影的光固化立体造型技术 ，受限于现有浸没型打印模式、光学投影系统分辨率与数据处置的影响 ，打印的横向精度（特点尺寸）大于60微米的结构 ，难以满足生物芯对微幼结构、较大面积的造作要求(参考文件1)。因而 ，高精度微纳3D打印系统虽有很大市场需要 ，却一向是未能攻克的难题。
CA88研发团队利用在大面积微纳直写设备、大数据图形设计与处置、R2R纳米压印技术的研造与利用方面的持久技术堆集 ，将微纳光刻光路系统利用于3D打印的光学结构中 ，将3D打印系统的横向打印精度提高了一个数量级。
分歧于以往立体光固化（SLA） 3D打印机 ，被打印物体均是浸没在胶槽中 ，纵向打印精杜咨光斑聚焦深度决定的步骤（拜见图2 ，参考文件1） ，横向与纵向打印分辨率都低。
图2 传统SLA 3D打印模式示意图
团队发了然“涂层-曝光-分离”的新的打印模式 ，获得了更高的纵向（分层）打印精度。 团队开发的逐层涂布 ，逐层打印微结构的光固化分离的新型SLA 3D打印技术 ，使3D物体纵向打印精度显著提高。攻克了以往SLA 3D打印机 ，后继打印层过程对已打印层有较大影响的共性难题。研造的“微纳3D打印系统Multi-μ 3D Printer” ，可打印极高精度的微3D结构。横向精度（特点结构）5μm-25μm（投影分辨率1微米） ，纵向精度（层厚）2μm-20μm。3D打印的测试了局如下图3：
横向结构测试：锥状顶5微米 ，底50微米 ，高150微米
层厚测试：最幼层厚2微米
空心柱测试：壁25微米 ，高180微米。侧壁光滑清澈 ，共焦显微镜拍摄
空心柱开孔测试：孔边长50微米 ；渐变3D打印样品（右）SEM照片
图3 微纳3D打印的测试样品
上述高精度3D打印机将是微纳3D打印系统之一。结合微纳压印/转印技术 ，微纳3D打印系统Multi-μ 3D Printer ，有望在生物芯片、传感器、MEMS器件造备等方面阐扬沉要作用。
图4 高精度微纳3D打印系统：Multi-μ 3D Printer照片
如用于细胞检测的深邃宽比的微柱阵列等各类生物芯片（下图）和通常步骤不成能实现的微纳结构的3D打印。
图5 生物芯片结构示意图
参考文件：
-
3D printed microfluidic devices: enablers and barriers, http://pubs.rsc.org/en/content/articlehtml/2016/lc/c6lc00284f
-
T. Billiet, M. Vandenhaute, J. Schelfhout, S. Van Vlierberghe and P. Dubruel, Biomaterials, 2012, 33, 6020–6041